精密旋涂儀

產品介紹：

名     稱：精密旋涂儀HC160

型     號：HC160

應   用：精密旋涂儀采用高級PLC 全自動程序控制，轉速精度高，穩定性好。可用于微電子、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領域高精度薄膜涂層的制備。

產品概述：

　　HC160精密旋涂機被設計為涂膠處理基片尺寸為?5mm~160mm或對應的，使用工業級直流馬達和PLC控制，4.3英寸全彩觸屏人機界面操作，簡單易用。勻膠機在材料、化學或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備，納米薄膜研究等相關領域。
　　靈巧型勻膠機設計標準為結構緊湊、簡單易用，程控操作，且能夠升級自動點膠功能，尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內進出，具有優異的性價比。亦可提供分體式設計，進行嵌入式安裝，與手套箱進行配合。

性能參數：

• 適用晶元尺寸范圍：?5~160mm；

• 旋涂速度：100~12000rpm；轉速分辨率：1rpm；

• 旋涂加速度：100-30000rpm/s；

• 最大旋涂時間：3000s；旋涂時間精度：0.1s；

• 內腔直徑220mm，內腔壁采用凹面防濺設計；

• 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序，每組程序10步；

• 電源輸入：AC200-230V；

產品特點：

• 設計緊湊，可放置在手套箱內；

• 5英寸彩色觸屏控制，人機界面；

• 一體加工成型的HDPE內腔，耐腐蝕，易清潔；內腔壁采用凹面設計，有效防濺；

• 高級PLC全自動程序控制，可編程；

• 帶真空度安全互鎖檢測功能；帶蓋子安全互鎖檢測功能；

• 具有電機進膠保護功能；管路易疏通設計；具有真空不足提示及保護功能，具有斷電后參數自動保存功能。  

• 帶一路自動點膠接口，可升級自動點膠系統；

• 可設置用戶密碼保護功能；

• 配置可調基座，方便調節水平；

產品外型尺寸：

　　358mm(D)*252mm(W)*255mm(H)

                HDPE高分子材料耐腐蝕內腔

        HDPE高分子內腔及載物盤